現(xiàn)代寬禁帶功率器件 (SiC, GaN) 上的開(kāi)關(guān)晶體管速度越來(lái)越快，使得測(cè)量和表征成為相當(dāng)大的挑戰(zhàn)。與 HTRB高溫偏置試驗(yàn)一 一對(duì)應(yīng)，AQG324 該規(guī)定了動(dòng)態(tài)偏置試驗(yàn)，即動(dòng)態(tài)高溫反偏（DHRB，Dynamic high-temperature reverse bias）。
設(shè)備簡(jiǎn)介
KC-3105 測(cè)試系統(tǒng)中可同時(shí)完成HTRB和DHTRB測(cè)試，整體架構(gòu)模塊化，通訊協(xié)議、通訊接口等采用統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，便于后期擴(kuò)展和維護(hù)。該系統(tǒng)集成度高、應(yīng)用覆蓋面廣，系統(tǒng)采用軟、硬件一體化設(shè)計(jì)且功能豐富，在保證系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的同時(shí)，可以快速滿(mǎn)足功率半導(dǎo)體可靠性測(cè)試需求。
系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)
高溫高壓高精度：dv/dt>50v/ns、頻率50KHz；
高精度測(cè)試：電流分辨率10pA，電壓分辨率100nV；
多參數(shù)測(cè)量：Vsd電壓、Vgsth電壓、Rds電阻、Igss漏電流、Idss漏電流、溫度；
多通道測(cè)試：高效率80通道測(cè)試，每個(gè)通道獨(dú)立控制，故障斷開(kāi)及時(shí)，互不影響；
軟件功能
功能完備并有可擴(kuò)展性,基于Windows平臺(tái)開(kāi)發(fā),配備工控機(jī)系統(tǒng)；
數(shù)據(jù)管理功能完整,具有操作界面與上位機(jī),可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動(dòng)保存與生成測(cè)試報(bào)告具有漏源極漏電流、溫度等檢測(cè)功能；
可對(duì)每一個(gè)測(cè)試器件獨(dú)立控制,包含開(kāi)始、暫停、繼續(xù)、終止操作功能；
保存與記錄試驗(yàn)數(shù)據(jù),過(guò)沖電壓、開(kāi)關(guān)頻率、漏電流、溫度、故障信號(hào)、工作時(shí)長(zhǎng)、漏源電壓變化率等。
參數(shù)測(cè)試
1、Vgsth測(cè)試條件： G，D和S之間加管子規(guī)定電流，測(cè)試G和S之間的電壓值；電壓值就是閥值電壓。
2、VSD測(cè)試條件： G和S之間加反向電壓,D和S之間加反向管子規(guī)定電流，測(cè)試D和S之間的電壓值；電壓值就是反向二極管導(dǎo)通電壓。
3、RDS測(cè)試條件： G和S之間加正向電壓,D和S之間加正向管子規(guī)定電流，測(cè)試D和S之前的電壓值；內(nèi)阻 Rds(mΩ)=Vds / Ids (DS之間電壓/DS流過(guò)的電流)。
4、Igss測(cè)試條件： G和S之間加管子規(guī)定電壓，D和S接0V，測(cè)試出流過(guò)G極的電流就是Igss漏電流；
5、Idss測(cè)試條件： D和S之間加管子規(guī)定電壓，G和S接0V，測(cè)試出流過(guò)D極的電流就是Idss漏電流；
老化測(cè)試
一、DRB 動(dòng)態(tài)反偏
1.試驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)time: ≥1000h
2.試驗(yàn)溫度temp: 25℃
3.漏源電壓VDS: ≥0.8Vdsmax
dVDS/dt 取 50V/ns，f≥25kHz;
4.柵源電壓VGS：0V or VGSmin
二、DGB 動(dòng)態(tài)柵極反偏
1.試驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)time：為10^11次循環(huán)
2.試驗(yàn)溫度temp：25℃
3.漏源電壓VDS：0V
4.柵極電壓VGS：VGS=VGSmax至VGS min，dVGS/dt 取 1V/ns，f≥50kHz
三、HTRB 高溫反偏
1.試驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)time：≥1000h
2.試驗(yàn)溫度temp：最高結(jié)溫
3.漏源電壓VDS：≥0.8Vdsmax
4.柵源電壓VGS：0V or VGSmin
四、HTGB 高溫柵極反偏
1.試驗(yàn)時(shí)長(zhǎng)：≥1000h
2.試驗(yàn)溫度：最高結(jié)溫
3.VDS漏源電壓：0V
4.柵極電壓：VGS=VGSmax(正柵極電壓測(cè)量50%DUT) VGS=VGSmin(負(fù)柵極電壓測(cè)量50%DUT)
保護(hù)功能
上電自測(cè):可實(shí)現(xiàn)器件防呆,電路狀態(tài)；
保護(hù)功能:對(duì)于帶電、高溫開(kāi)箱、過(guò)溫、測(cè)試電參數(shù)異常、驅(qū)動(dòng)電路故障等可實(shí)現(xiàn)保護(hù)功能；
故障隔離:可實(shí)現(xiàn)組間的獨(dú)立性控制,出現(xiàn)故障斷開(kāi)及時(shí),不影響其他器件工作。
系統(tǒng)構(gòu)成圖
參考標(biāo)準(zhǔn)
AQG 324 機(jī)動(dòng)車(chē)輛電力電子轉(zhuǎn)換器單元用功率模塊的驗(yàn)證
AEC Q101車(chē)用分立半導(dǎo)體元器件的基于失效機(jī)理的應(yīng)力測(cè)試驗(yàn)證
軟件界面
技術(shù)參數(shù)
